▍產(chǎn)品簡介

DEV-6LS 桌上型半自動(dòng)顯影機(jī)設(shè)備專為半導(dǎo)體、光電及精密制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)，提供高精度、高可靠性的樣品處理解決方案。其核心特點(diǎn)包括精準(zhǔn)的轉(zhuǎn)速控制、PLC智能控制系統(tǒng)以及高效的藥液噴灑與清洗功能，能夠滿足對(duì)微米級(jí)別精度要求的工藝處理需求。

▍技術(shù)特點(diǎn)

 1.高精度轉(zhuǎn)速控制

設(shè)備采用交流伺服電機(jī)，轉(zhuǎn)速范圍為20-3000轉(zhuǎn)/分鐘，轉(zhuǎn)速精度達(dá)±1轉(zhuǎn)/分鐘，確保樣品處理過程中的穩(wěn)定性與高精度要求。

2.PLC智能控制系統(tǒng)
配備觸控面板和PLC控制系統(tǒng)，支持手動(dòng)和自動(dòng)模式切換，能夠根據(jù)實(shí)際需要靈活設(shè)定高達(dá)50組配方，每組配方最多支持20步操作。系統(tǒng)提供程序與數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能，提升操作便捷性和數(shù)據(jù)管理效率。

3.藥液分配系統(tǒng)
采用PLC控制的分配臂，能夠精準(zhǔn)設(shè)定臂體位置及操作速度，滿足不同工藝需求。藥液分配采用高精度噴嘴，配合去離子水清洗噴嘴，確保每次處理的精準(zhǔn)性與清潔度。

4.安全保護(hù)設(shè)計(jì)
設(shè)備內(nèi)置真空檢測與保護(hù)機(jī)制，支持?jǐn)?shù)字設(shè)定和下限保護(hù)，防止液體滲漏，并且在運(yùn)行結(jié)束時(shí)提供報(bào)警提示，確保操作過程中的安全性。

5.用戶友好界面
配備觸摸屏，操作簡便，且支持多種操作模式，用戶可以快速進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整。

此設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池、光電器件的生產(chǎn)與測試，特別適合用于清洗、顯影和其他精細(xì)化學(xué)處理工藝。其高精度、高可靠性使其成為優(yōu)良制造工藝中的理想選擇