▍產(chǎn)品簡介

SCP-6LD 桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)采用先進(jìn)的分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計，適用于高精度涂膠應(yīng)用，能夠?qū)⒁簯B(tài)或膠體材料均勻涂覆在各種基片表面，包括硅片、晶體、石英、陶瓷等。設(shè)備支持旋涂和多步編程旋涂，適合?10~150mm圓晶尺寸基片的涂膠處理。該涂布機(jī)搭載7英寸觸摸屏和高級PLC控制系統(tǒng)，操作界面直觀易懂，支持精確的實(shí)驗(yàn)參數(shù)設(shè)置及實(shí)時運(yùn)行狀態(tài)顯示。內(nèi)腔設(shè)計可直接拆卸，方便清洗，適應(yīng)各種不同的涂膠需求，確保操作簡便高效。

▍技術(shù)特點(diǎn)

1.廣泛適用：支持?10~150mm基片涂布，適用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作等多個領(lǐng)域。

2.精密控制：旋涂速度100~10000rpm，1rpm分辨率，確保涂層均勻且精準(zhǔn)。

3.靈活編程：單步快速旋涂與多步編程旋涂，支持多組涂敷工藝參數(shù)設(shè)定。

4.易清潔維護(hù)：可拆卸內(nèi)腔，支持PP、PMMA、PTFE等材質(zhì)，便捷清洗，滿足不同需求。

5.高穩(wěn)定性：PLC控制系統(tǒng)精準(zhǔn)調(diào)控，電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)防止損壞，管路設(shè)計便于疏通。

6.便捷操作：7英寸觸摸屏，簡潔界面實(shí)時顯示狀態(tài)和參數(shù)，操作直觀便捷。

7.穩(wěn)定可靠設(shè)計：配有吸盤（10mm、25mm、50mm、100mm）與無油真空泵，確保穩(wěn)定操作。

▍技術(shù)參數(shù)

▍典型應(yīng)用

SCP-6LD 桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域，適用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法高分子薄膜涂布及各類材料研究，滿足科研與小批量生產(chǎn)中對多尺寸基片的高精度、均勻涂布需求。