采用紫外線照射光源使用汞氙燈作為光源，是一種通過使用紫外線冷鏡和光學積分器，只選擇和照射具有優(yōu)良均勻性的恒定偏轉光的光源裝置。

2. 設備名稱/型號

紫外偏振光曝光系統(tǒng)

型號：HC-300PUFM-50

3. 適應樣品尺寸

工作臺尺寸：100mmx100mm

4. 設備尺寸

參照設備外觀圖

5. 設備配置

設備構成

1）輻照光源單元           1臺

2）燈具照明電源單元       1臺

3）干擾濾波片（HBPF313） 1片

4）試料平臺               1臺

5）樣品吸附泵箱           1臺

6）電纜類                 1式

7）Hg-Xe燈（300W）      1件

8）維修鏡光軸調整鏡       1片

6. 設備性能

1）照射光源部分

①使用燈：Hg-Xe300W（UXM-300YA）

②燈泡壽命：平均1000小時（保修500小時）

③照射光譜特性：250nm~500nm

④主波長：313nm

(5) 輻照照度：2 - 4mw/cm^2可調

※使用照度計OAI-306測量得到的313nm，作為照度保證值。

 (6) 可調輻照方式：手動調節(jié)（通過安裝手動輻照調節(jié)機制進行調節(jié)）。

 (7) 輻照面積：有效□50毫米

 (8) 輻照距離：約20毫米

（9） 照度分布：在±10%以內（@照度2-4mw）。

（10）消光比：50：1以上（消光比=S波：P波=χ：1）

（11）濾光片支架：φ50.8 mm濾光片專用

?冷卻：強制空冷

 ?重量：約50公斤

 (?涂裝顏色：根據(jù)客戶的要求。

(15) 外部尺寸：見附圖。

2）光源電源部分

①輸入電壓：單相100V±10P/60Hz

②功耗：MAX.700 VA

③光源控制：開關恒功率控制

④功率可調：約250~300W

⑤穩(wěn)定度：±2%以內

⑥冷卻：自然對流冷卻

⑦重量：約5千克

⑧涂裝顏色：根據(jù)顧客的要求

⑨外形尺寸：見附件附圖

⑩快門控制：手動控制（通過開關任意開閉，通過計時器控制時間）

7. 干擾濾波器（HBPF313）

①313nm帶通濾波器    1件

可以通過安裝一個高透光率的干擾過濾器來選擇照射波長。

1) LWPF: 313nm / 365nm / 405nm / 436nm    4種類型

2) HBPF：254nm / 313nm / 365nm / 405nm / 436nm   5種類型

8. 樣品臺

①樣品尺寸：最大100mmx100mm

②高度調節(jié)機構：Z軸平臺

③沖擊機構：0~50度角度可變（1度單位）

④旋轉機構：90度旋轉機構

⑤吸附機構：防止試料脫落的吸附機構

※吸附用孔的構造是跟客戶另外協(xié)商決定

9. 樣品吸附（真空）泵箱

①輸入電壓：單相100V（由電源部分供電）

②重量：約5Kg

③漆面顏色：黑色（面板 銀色）

10. 安全措施

1）絕緣電阻：各異極間DC500V20MΩ以上

2）絕緣耐壓：輸入-輸出間AC1000V  1分鐘

輸出到最終聚集AC500V   1分鐘

3）泄漏電流：AC200V下2mA以下（1kΩ/0.15μF測量）

4）殘余能量：在施加最大輸入電壓·空載的情況下，從電源關閉開始經(jīng)過1分鐘后，控制在42V以下。

5）噪音對策：1μsec.±600V（正常共模）下無誤操作

6）聯(lián)鎖：光源開啟狀態(tài)下，打開維修保養(yǎng)倉蓋，燈OFF

照射時打開丙烯酸蓋，即時關閉

11. 環(huán)境條件

1）使用環(huán)境

①環(huán)境溫度：20℃~30℃

②相對濕度：65%Rh以下（無結露）

③清潔度：建議在1000級以下

2）保存環(huán)境

①環(huán)境溫度：10℃~40℃

②相對濕度：80%Rh以下（無結露）

※請不要在有腐蝕性氣體·多粉塵·可燃性的氣氛和水滴的危險的環(huán)境中使用。（必須要在特殊環(huán)境下使用時，請咨詢制造商。）

12. 電源

1）電源：單相100V±10%   50/60Hz  MAX10A

13. 消耗品

1）燈泡：平均壽命1000小時保證壽命500小時

型號：UXM-300YA

2）橢圓鏡：平均壽命3000小時

壽命因使用環(huán)境而異

3）UV平面鏡：平均壽命3000小時

壽命因使用環(huán)境而異

4）旋轉螺線管：平均壽命200,000次

5）切換單元：平均壽命50,000小時

14. 驗收條件

另行協(xié)商

15. 保證事項

對于我們設計和制造的交付設備，在驗收后一年內出現(xiàn)的缺陷和故障，我們將迅速免費維修和更換。但是下列的情況不屬于保修對象。

①因跌落或極度沖擊而引起的故障和損傷

②在影響電路的灰塵多的地方使用狀態(tài)下發(fā)生的故障和損壞

③因不當修理改造而引起的故障和損壞

④由于施加異常電壓而引起的故障和損壞

⑤在腐蝕性氣體環(huán)境中使用及因天災引起的故障和損壞

⑥非消耗品指定零件的情況

⑦未按照操作說明使用的情況

⑧經(jīng)調查發(fā)現(xiàn)使用方法異常的情況

⑨在規(guī)格之外運行的情況

⑩因災害等原因發(fā)生故障的情況

※因使用本設備而造成的損壞或損失不在保修范圍內

1）燈泡保修

在正常使用條件下，在亮燈累計500小時內不亮或損壞的，

免費交換。但是，由于燈破裂造成的光學元件損壞需要支付費用。

2）設備保修

除耗材外，在交付一年內按照使用操作書正常使用狀態(tài)下

如果發(fā)生故障，將免費修理。

※本規(guī)格書的內容如有進一步變更，將制作并提交交付規(guī)格書。

16. 提交文件（決定交付設備后）

1）審批圖紙普通紙1份

2）工藝表普通紙1份

3）操作說明書潔凈紙1份普通紙1份

4）采購品操作說明書普通紙1份

5）驗收試驗數(shù)據(jù)潔凈紙1份普通紙1份

6）電氣原理圖潔凈紙1份普通紙1份

7）序列梯形圖*未使用

8）耗材清單潔凈紙1份普通紙1份

9）保養(yǎng)（維護）要領書潔凈紙1份普通紙1份