我司代理的寶德氣體質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。CMOSens 技術(shù)，基于熱式原理，將熱傳感器和 放大器，A/D轉(zhuǎn)換，集成在一個(gè)CMOS芯上,并通過(guò)內(nèi)部 微控制器將檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行*標(biāo)定和溫度補(bǔ)償，這種測(cè)量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無(wú)需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。

    目前，一些的熱式流量計(jì)廠家正在紛紛開(kāi)發(fā)CMOS芯片式質(zhì)量流量計(jì)。寶德研發(fā)和生產(chǎn)質(zhì)量流量產(chǎn)品已有100余年的歷史，廣泛應(yīng)用于各類需檢測(cè)和控制氣體流量的設(shè)備上。下面介紹一下我公司在工程上的部分應(yīng)用：
1、在真空鍍膜中的應(yīng)用：

   用戶之前使用的是國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器為玻璃進(jìn)行沉積一層強(qiáng)度非常高的氮化膜層，鍍膜方式采用離線真空濺射法所鍍的膜層厚薄不均，有很明顯的斑點(diǎn)，在工作中受高溫和高壓強(qiáng)的影響，膜層容易起斑點(diǎn)，膜層組織可控參數(shù)少、膜層粒子總體能量不高，不容易進(jìn)行反應(yīng)沉積。所鍍膜后的工件嚴(yán)重影響被加工件的加工精度。
分析其原因，主要是因?yàn)闅怏w質(zhì)量流量控制器在工作受到現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備磁場(chǎng)的干擾和鍍膜機(jī)上的震動(dòng)引起對(duì)反應(yīng)氣體的控制不穩(wěn)定，氣體響應(yīng)滯后，控制精度不高導(dǎo)致的，因此要求充入的氣體控制穩(wěn)定，精度要求高。所以寶德質(zhì)量流量控制器肯定是能更好的投入使用的。