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CPC-35-CIF生產(chǎn)型等離子清洗機
  • CPC-35-CIF生產(chǎn)型等離子清洗機

更新時間:2025-02-16 21:00:07

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CIF推出的CPC系列生產(chǎn)型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設(shè)計的等離子體表面處理設(shè)備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數(shù)生產(chǎn)場景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應(yīng)用,設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運行,產(chǎn)品穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性一致性好。

等離子清洗機產(chǎn)品特點:

u PLC工控機控制整個清洗過程,實時參數(shù)狀態(tài)直觀顯示。

u 整個清洗過程全自動進行。

u 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。

u 標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),氣體分配均勻??奢斎?/span>氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

u 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計,設(shè)備占用空間小。

u 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

u 樣品處理溫度,熱損傷和熱氧化

u 使用成本低、耗損小。

       u 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,安裝與維護簡便方便。

等離子清洗機技術(shù)參數(shù):

型號

CPC-35

艙體尺寸

W320xH320xD350mm

艙體容積

35L

有效尺寸

W300xD315mm

電極分布

3-4層

射頻電源

13.56Mhz 0-300W (可選裝40KHz, 0-1000W)

匹配器

自動匹配

1.2A

時間設(shè)定

1-99分59秒

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

激發(fā)方式

電容式

控制系統(tǒng)

7寸PLC觸摸屏控制

工藝氣體

2氣路 MFC(可選裝3路)

真空泵

抽速約16m3/h

AC220V 50-60Hz





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