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中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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XTRAIA CD-3010G日本理學(xué)RIGAKUT淺層重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量

時(shí)間:2025/4/23閱讀:138
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XTRAIA CD-3010G

斜入射 X 射線(xiàn) CD 測(cè)量工具

可以使用 GISAXS 和 X 射線(xiàn)反射 (XRR) 測(cè)量來(lái)測(cè)量 CD,以測(cè)量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容最大 300 毫米的晶圓


XTRAIA CD-3000G


XTRAIA CD-3010G 規(guī)格

技術(shù)傾斜小角 X 射線(xiàn)散射測(cè)量 (GISAXS), X 射線(xiàn)
反射測(cè)量 (XRR)
淺層重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量
X 射線(xiàn)源包合管,Cu Ka (8.04 KeV)
X 射線(xiàn)光學(xué)元件多層反射鏡光學(xué)元件
X 射線(xiàn)探測(cè)器二維探測(cè)器
主要組件圖案化晶圓測(cè)量周期性
精細(xì)3D形狀線(xiàn)
和空間,點(diǎn)或孔結(jié)構(gòu)
,淺孔/列,抗蝕劑,掩模圖案,存儲(chǔ)設(shè)備單元區(qū)域,F(xiàn)inFETs/GAAs
特征圖形識(shí)別和全晶圓映射
選擇GEM300 軟件,支持 E84/OHT
本體尺寸1865(寬)× 3700(深)× 2115(高)毫米,2965 公斤(包括裝載口)
測(cè)量目標(biāo)GISAXS:間距、CD、高度、SWA(側(cè)壁角度)、RT(頂部圓角)、RB(底部圓角)、線(xiàn)寬分布、間距分布、高度分布
XRR:薄膜厚度、密度和粗糙度



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