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WDA-3650日本理學(xué)RIGAKUT用于薄膜評(píng)估的 X 射線熒光光譜儀

時(shí)間:2025/4/23閱讀:100
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晶圓/磁盤分析儀 3650

用于薄膜評(píng)估的 X 射線熒光光譜儀

對(duì)各種薄膜的厚度和成分進(jìn)行同步、無損、非接觸分析

這是一種波長色散 X 射線熒光光譜儀 (WD-XRF),可以以非破壞性、非接觸的方式同時(shí)分析最大 ~200 mm 晶圓上各種薄膜的厚度和成分。 XYθZ 驅(qū)動(dòng)式樣品臺(tái)可準(zhǔn)確分析各種金屬膜,避免了衍射線的影響。 使用 4kW 高功率 X 射線管可對(duì)超輕元素進(jìn)行高精度分析,例如 BPSG 薄膜的痕量元素測(cè)量和硼分析。 它還與 C-to-C 傳輸機(jī)器人(可選)兼容。 它配備了 Auto Cal(全自動(dòng)日常檢查和強(qiáng)度校正功能)。


WDA-3650-中學(xué)


WAFER/DISK ANALYZER 3650 規(guī)格

產(chǎn)品名稱WDA-3650 型
技術(shù)同步波長色散 X 射線熒光 (WD-XRF)
用于最大 200 mm 晶圓的多層堆棧的厚度和組成
科技4 kW X 射線發(fā)生器,帶 XYθ 樣品臺(tái),Rh 陽極 WDXRF
主要組件多達(dá) 20 個(gè)通道,固定(?Be 到 ??U),掃描(??Ti 到 ??U)
選擇高靈敏度 AD-Boron 通道,使用 C-to-C 自動(dòng)進(jìn)樣器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)
控制 (PC)內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng)
本體尺寸1120 (寬) x 1450 (高) x 890 (深) 毫米
質(zhì)量600 kg(身體)
權(quán)力三相 200 VAC 50/60 Hz,30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A



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