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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

標(biāo)準(zhǔn)探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺

|產(chǎn)品概要

JKZC-DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測試。此系列探針臺設(shè)備配置十分豐富，不僅具備龍門架結(jié)構(gòu)和卡盤的升降功能，還具備的卡盤快速移動技術(shù)，可快速定位樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離，同時也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實驗室或者半導(dǎo)體工廠得到廣泛運用，配合對應(yīng)的儀器儀表，可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現(xiàn)1μm以上的Pad電極測試,也可以實現(xiàn)搭載探針卡的測試。

|技術(shù)特點

•卡盤可360度快速移動，便于快速定位樣品位置,提高測試效率；

•三段式可升降探針座平臺，在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離；

•加厚級剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計,的內(nèi)部防震技術(shù)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品型號技術(shù)參數(shù)		JKZC-DH6	JKZC-DH8	JKZC-DH12
探針臺本體	主體材料	航空鋁	航空鋁	航空鋁
	整機尺寸（mm）	750L550W680H	800L580W680H	930L700W680H
	重?	75kg	95kg	150kg
	卡盤大小	6" ,360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào)	8",360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào)	12；360度轉(zhuǎn)動，可微調(diào)
	卡盤XY軸行程	6"6",精度 10um	8"*8"，精度 10um	12"*12"₃m 度 10um
	卡盤Z軸行程	快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米
	卡盤材質(zhì)	不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
	卡盤氣浮移動范圍	360度快速移動，便于快速定位，提高測試效率
	卡盤吸附方式	真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
	背電極測試功能	卡盤鍍金，電學(xué)獨立懸空，帶2個4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
	其它功能	帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級
針座平臺	材質(zhì)	U型平臺，Q235鍍銀，帶接地端子
	大小	最多可放置6個探針座	最多可放置8個探針座最多可放置12個探針座
	三段式升降平臺	探針平臺可以快速升降，擁有5mm和300um兩檔，探針平臺可以上下微調(diào)，行程25mm,升降精度gm。（使用探針卡的時候使用）
顯TH系統(tǒng)	顯微鏡類型	體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
	倍率范圍	16X~200X/40X~280X/20X~4000X
	顯微鏡行程	具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸2英寸2英寸，精度lum
	CCD成像系統(tǒng)	2k或者4K相機，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
探針座	種類	絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟型探針座
	X￥Z行程	12.5mm-12.5mm-12.5mm
	機械精度	0.5um/0.7um/2um
夾具	漏電精度	同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA
	接口形式	同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
其它	選件	屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動
	電力需求	220W50HZ

搭配產(chǎn)品/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

標(biāo)準(zhǔn)探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺
我們經(jīng)過近10年的發(fā)展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分豐富的經(jīng)驗。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導(dǎo)體參數(shù) 分析儀有過多次搭配經(jīng)驗，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導(dǎo)體參數(shù)分析儀與探針臺集成測試方案和服務(wù)。

搭配產(chǎn)品/矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀

標(biāo)準(zhǔn)探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺
依靠與儀器設(shè)備廠商和設(shè)備集成經(jīng)銷商所保持良好的合作關(guān)系，我司可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的網(wǎng)絡(luò)分析儀和模塊，有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、 Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E 等,各系列型號的矢量網(wǎng)絡(luò) 分析儀和毫米波網(wǎng)絡(luò)分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并為用戶提供網(wǎng)絡(luò)分析儀與探針臺集成測試方案和服務(wù),具備豐富的測試經(jīng)驗。