前情提示:何為半導體晶圓plasma除膠?
半導體加工工藝及其它薄膜加工工藝過程中,各類光刻膠的等離子去除,去除材料表面污染物,保證與其他材料的結合能力。
除膠之外,微波等離子還有什么應用?
· FC封裝微波等離子處理
· 金屬鍵合前處理
· 晶圓表面活化
技術壁壘高,危機和機遇并存
· 技術壁壘較高,美、日、韓品牌形成壟斷
· 絕大部分品牌外購微波半導體等離子發(fā)生器
· 價格昂貴
· 交付周期超過半年
· 服務無法及時響應
sindin自主研發(fā) 掌控核心技術
· 國內自有自主研發(fā)微波半導體去膠發(fā)生器技術;
· 磁流體旋轉架,保證處理效果均勻;
· 微波無放電電極,高效均勻,保證刻蝕率;
· 低溫等離子體,避免產生熱損傷;
· 自偏壓要求低,微波結和磁路可以兼容。
技術+服務+性價比 實現國產替代
=技術保障=
· 自有微波半導體去膠發(fā)生器技術,并可提供雙電源技術(MW+Bias RF)解決客制化問題。
=服務保障=
研發(fā)實力
· 專業(yè)的半導體研發(fā)團隊,并擁有多位十五年以上半導體從業(yè)經驗的高級工程師。
· 華南理工大學等離子技術聯(lián)合實驗室,多位教授擔任項目技術顧問;
· 四川大學半導體項目戰(zhàn)略合作伙伴;
一站式服務
· 銷售、技術、售后項目組一站式服務;
· 專業(yè)有素的售后服務團隊。
=價格優(yōu)勢=
· 降本30%以上,性價比高,產品*符合行業(yè)標準。
效果是檢驗產品的標準
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