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  GVC-1000射頻磁控濺射鍍膜儀(全自動離子濺射儀)主要適用于掃描電鏡鍍覆導電膜,儀器操作簡單方便,是樣品制備所必要的儀器。適用的靶材:金、鉑、金鈀合金、銀、鉛、銅、鉻、銻等!
  描述
  1、離子濺射儀工作原理:磁控濺射;
  2、可選靶材:金,鉑,金鈀合金,鉛,銀,銅,鉻,銻等;
  3、真空室:φ128×100高硅硼玻璃;
  4、全自動操作,簡單易用,非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等;
  濺射電流自動調整—設定濺射電流后,系統(tǒng)自動調節(jié)真空度,從而達到設定的濺射電流,調整時間<5s,波動范圍<±5%;
  5、無需按“實驗”鍵調整濺射電流、無需操作“進氣閥”:
 ?。?)濺射時間自動記憶——同類樣品一次設定即可;
  (2)參數改變自動調整——濺射過程中可以隨時調整濺射電流和濺射時長,系統(tǒng)自動計算疊加,無需終止濺射過程;
 ?。?)工作完成自動放氣;
 ?。?)樣品臺高度調節(jié)1秒完成;
 ?。?)濺射過程可以利用曲線顯示,清晰直觀;
 ?。?)極限真空:小于1Pa;
  6、軟硬件互鎖,防誤操作,安全可靠:
 ?。?)真空度高于100Pa,啟動真空保護,無法濺射;
 ?。?)濺射電流高于50mA,停止濺射過程;
 ?。?)真空泵工作時,系統(tǒng)無法進行放氣操作;
  7、GVC-1000射頻磁控濺射鍍膜儀鍍層均勻,導電性良好。

射頻磁控濺射鍍膜儀

射頻磁控濺射鍍膜儀

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