CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS-多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
2025-08-11
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本設備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度最高可達1800℃，可實現多種難熔金屬的蒸鍍。本設備采用一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離，有力的保證了用戶的需求。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設備設計完善性能，是實驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的之選。
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀技術參數：
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | ||
型號 | CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS | |
樣品臺 | 尺寸 | *大支持φ150mm樣品 |
高度 | 上下70mm可調 | |
蒸發(fā)源 | 數量 | 鎢舟x2 |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ325x600mm |
觀察窗口 | 前置φ100mm | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |
真空系統(tǒng)
| 前級泵 | 雙極旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
次級泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | CF160 | |
真空測量 | 電阻+電離 復合真空規(guī) | |
排氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
控制系統(tǒng) | PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 | |
其他
| 供電電壓 | AC380V,50Hz |
整機尺寸 | 1000mm X900mm X 1500mm | |
整機重量 | 350kg | |
整機功率 | 5kW | |
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鄭州成越科學儀器有限公司
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