規(guī)格

　　Sprint系列的Flex是專為各種卷材的靈活沉積設(shè)備,*的沉積來源和多個(gè)襯底選項(xiàng),單面接觸材料處理精度。卷材的配置提供了自由跨度與沉積在兩個(gè)正面和背面的襯底在單通道提供zui大的靈活性。

　　可配置的高達(dá)4前面和3背面沉積來源,Sprint Flex提供獨(dú)立的配方驅(qū)動(dòng)控制每個(gè)源,包括能夠執(zhí)行多個(gè)傳遞與交流材料。

　　襯底加熱和預(yù)處理選項(xiàng)如離子轟擊,AC / DC /射頻等離子體轟擊可以優(yōu)化表面能的底物。

　　野馬太陽(yáng)能提供的應(yīng)用程序以及標(biāo)準(zhǔn)流程，為客戶提供的SprintFlex 40高度可靠的平臺(tái)進(jìn)行升級(jí),柔性基板沉積工藝，,通過試點(diǎn)和低量生產(chǎn)。

　　●雙重方向沉積-

　　●基材- 40厘米寬20厘米

　　●自定義和較大的襯底可用選項(xiàng)

　　●膜厚度監(jiān)測(cè)

　　●Sprint快速退火

　　●本底真空10 x -7

　　●油式機(jī)械或無油干式泵

　　●油擴(kuò)散或分子泵

　　●低溫補(bǔ)集泵

　　●沉積來源——

　　●平面磁控濺射,co蒸發(fā)、硒、熱退火、自定義

　　●—附加功能——

　　機(jī)載診斷

　　網(wǎng)絡(luò)兼容

　　等離子體預(yù)處理

　　1到7陰極配置(4正面,3背面)

　　電氣配置

　　公用資源

　　●空氣:80 psi(5.5條)@ 20 cfm

　　●電氣:480 v / 3 p / 50 hz / 250佛羅里達(dá)州,充分準(zhǔn)備,其他電源配置可用

　　●水:50美制加侖/分鐘(220升/分鐘)@ 60 - 80 F(15 - 26度)

　　●接地:兩(2)¾”直徑包銅鋼棒驅(qū)動(dòng),通過地板,進(jìn)入地底,深度8”。接地棒分開6英尺距離,接地電阻小于3歐姆。

　　●直流電源30 - 180千瓦

　　●交流電源

　　●射頻功率

　　●脈沖直流電源

　　●HIPIMS -高影響等離子體磁控濺射