活動范圍 200mm x 200mm（8"）, 300mm x 300mm（12"）
測量范圍 100?~ 35?（Depends on Film Type）
光斑尺寸 40?/20?, 4?（option）
測量速度 1~2 sec./site
應(yīng)用領(lǐng)域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
選項 Programmable Auto Z Stage
參考樣品（K-MAC or KRISS or NIST）
焦點 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp

尺寸 500 x 610 x 640 mm
重量 45Kg
類型 手動的
測量樣本大小 ≤ 8", 12"
測量方法 無連接的
測量原理 反射計
特點

測量迅速，操作簡單
非接觸式，非破壞方式
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