活動(dòng)范圍 ~300mm x 300mm
測(cè)量范圍 100?~ 35?（Depends on Film Type）
光斑尺寸 40?/20?,4?（option）
測(cè)量速度 1~2 sec./site（fitting time）
應(yīng)用領(lǐng)域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measurement
選擇 Transmittance Module
Reference Sample（K-MAC or KRISS or NIST）
接物鏡旋轉(zhuǎn)器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點(diǎn) Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp

尺寸 1100 x 1250 x 1550 mm
重量 400kg
類(lèi)型 自動(dòng)的
測(cè)量方法 無(wú)連接的
測(cè)量原理 反射計(jì)
特征

測(cè)量迅速，操作簡(jiǎn)單 
非接觸式，非破壞方式 
優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性 
2D/3D 映射和造型 
自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制 
電荷耦合器件照相機(jī) 
自動(dòng)調(diào)焦