活動(dòng)范圍 300mm x 300mm
測(cè)量范圍 100?~ 35?（Depends on Film Type）
光斑尺寸 40?/20?,4?（option）
測(cè)量速度 1~2 sec./site （fitting time）
應(yīng)用領(lǐng)域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
選擇 Reference sample（K-MAC or KRISS or NIST）
Anti-vibration table
接物鏡轉(zhuǎn)換器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點(diǎn) Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp

·標(biāo)準(zhǔn)模型
·工業(yè)規(guī)格
·自動(dòng)的X-Y平臺(tái)
·自動(dòng)調(diào)焦
·半導(dǎo)體和裂變產(chǎn)物探測(cè)

尺寸 500 x 750 x 650 mm
重量 80Kg
類型 自動(dòng)
測(cè)量型號(hào) ≤ 4"
測(cè)量方法 無(wú)連接的
測(cè)量原理 反射計(jì)
特征

測(cè)量迅速，操作簡(jiǎn)單
非接觸式，非破壞方式
優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性
2D/3D 映射和造型
自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制
電荷耦合器件照相機(jī)
自動(dòng)調(diào)焦