AL18微波等離子去膠清洗機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/4/28 9:50:41
- 訪問次數(shù) 2370
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系方式：吳運(yùn)祥18916157635 查看聯(lián)系方式
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥 |
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微波等離子清洗去膠
AL18微波等離子去膠清洗機(jī)概述：AL18等離子系統(tǒng)適用于小批量生產(chǎn)和研發(fā)的*設(shè)備。并且，此系統(tǒng)可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統(tǒng)是一款創(chuàng)新型的通用設(shè)備，可選配旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，及ECR（電子回旋共振）裝置。
AL18微波等離子去膠清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：
- 腔體:鋁
- 容積:18公升
- 尺寸:寬度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
- 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈?zhǔn)介T
- 微波源：2.45GHz，可調(diào)50-600W
- 氣體進(jìn)氣:1路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
- 真空計(jì): Pirani,1-1000Pa
- 真空系統(tǒng)：DN 25 ISO-KF
- 真空閥：電動(dòng)氣動(dòng)閥
系統(tǒng)控制：
- PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
- 7”觸摸屏、圖形用戶界面
- Windows Office兼容
- 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
- 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
- 自動(dòng)或手動(dòng)操作
選配：
- 真空泵 ： 雙級(jí)真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
- 氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器
- 旋轉(zhuǎn)臺(tái)：鋁，直徑200mm,速度可調(diào)
- ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體
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