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AL76C立式微波等離子去膠清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/28 9:55:01
  • 訪問次數(shù) 2308

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

微波等離子清洗去膠

AL76C立式微波等離子去膠清洗機概述:AL76C為一體式緊湊型的等離子系統(tǒng),真空泵集成于立柜內(nèi)。適用于批量生產(chǎn),也可以i滿足研發(fā)及實驗室應(yīng)用。并且,此系統(tǒng)可以滿足360度的芯片封裝需要、工業(yè)、醫(yī)藥等領(lǐng)域。AL76C系統(tǒng)是一款創(chuàng)新型的通用設(shè)備,可選配旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤,及ECR(電子回旋共振)裝置。

AL76C立式微波等離子去膠清洗機技術(shù)參數(shù):

  • 腔體:鋁
  • 容積:76公升
  • 尺寸:寬度400毫米×深度490毫米×高度400毫米
  • 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈?zhǔn)介T
  • 微波源:2.45GHz,可調(diào)50-1200W
  • 氣體進氣:3路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
  • 真空計: Pirani,1-1000Pa
  • 真空系統(tǒng):DN 63 ISO-KF
  • 真空閥:電動氣動閥
  • 設(shè)備尺寸:1050毫米x800毫米x2020毫米

系統(tǒng)控制:

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
  • 10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲處理數(shù)據(jù)和錯誤信息,處理數(shù)據(jù)輸出
  • 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測
  • 自動或手動操作

選配:

  • 真空泵 : 真空泵組,如,抽吸能力大250m3/h
  • 氣路:額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器(可支持到4路)
  • 旋轉(zhuǎn)臺:鋁,直徑350mm,速度可調(diào)
  • ECR(電子回旋共振):鋁、支架配置永磁體


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