HXJ5N0系列 全自動探針臺
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室溫探針臺、低溫探針臺、全自動探針臺、半自動探針臺、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺、溫控儀等產(chǎn)品。
HXJ5N0系列自動探針臺4英寸、5英寸晶圓,包含二極管,三極管,MOSFET管、光電器件、傳感器和垂直結(jié)構(gòu)芯片之測量,可選配多針測試功能,可實(shí)現(xiàn)多顆同時測量之要求,提高機(jī)器的測試產(chǎn)能。
軟件功能介紹:
1.可測試圓片,測試范圍可選,支持隔行抽測和環(huán)形測試,MAP圖可以編輯測試;
2.支持壞點(diǎn)重測;
3.具備離線打點(diǎn)、同步打點(diǎn)功能;
4.具備接觸緩沖功能,針痕穩(wěn)定;
5.運(yùn)行精度補(bǔ)償功能,保證測試的穩(wěn)定性;
6.測試良率、總數(shù)、速度顯示;
7.CCD圖像自動對準(zhǔn)定位;
8.設(shè)備具備一定的抗干擾能力,支持高低溫測試,運(yùn)行穩(wěn)定;
9.多BIN分類測試,測試數(shù)據(jù)可以存儲,可以導(dǎo)出,兼容后道設(shè)備格式使用,具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能;
10.操作員,管理員,系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能;
參數(shù)和指標(biāo):
性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) |
可測試晶圓尺寸 | 4寸、5寸 |
工作臺行程 | 140mm×150mm |
控制精度 | ≤0.001mm |
全程精度 | ≤±0.05mm/160mm |
Z向行程 | ≤5mm(可調(diào)) |
θ向可調(diào)范圍 | ±15° |
支持高壓測試 | ≥2000V |
轉(zhuǎn)載晶舟 | 雙晶舟 |
真空度 | >-0.08MP |
電源 | AC220V 50Hz,1KW |