HX12N系列 半自動(dòng)探針臺(tái)
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室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
HX12N系列半自動(dòng)探針臺(tái)配置高精度的直線電機(jī)滑臺(tái)模組，行程滿足8英寸、12英寸芯片的測(cè)試。定位精度高，反應(yīng)速度快以及使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)，滑臺(tái)同時(shí)配備了高精度的光柵反饋系統(tǒng)，保證了運(yùn)行精度的可靠性，并且該模組為本公司自研產(chǎn)品，保證了模組的成品質(zhì)量和生產(chǎn)周期，為探針臺(tái)的測(cè)試提供了又快又準(zhǔn)的硬件保障。
軟件功能介紹
• 可測(cè)試圓片，測(cè)試范圍可選，支持隔行抽測(cè)和環(huán)形測(cè)試，MAP圖可以編輯測(cè)試；
• 支持壞點(diǎn)重測(cè)；
• 具備離線打點(diǎn)、同步打點(diǎn)功能；
• 具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定；
• 運(yùn)行精度補(bǔ)償功能，保證測(cè)試的穩(wěn)定性；
• 測(cè)試良率、總數(shù)、速度顯示；
• CCD圖像自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)和定位；
• 設(shè)備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測(cè)試，運(yùn)行穩(wěn)定；
• 多BIN分類測(cè)試，測(cè)試數(shù)據(jù)可以存儲(chǔ)，可以導(dǎo)出，兼容后道設(shè)備格式使用，具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析功能；
• 操作員，管理員，系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能
參數(shù)和指標(biāo)：
| 性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) | |
| 可測(cè)片徑 | 8″、12″ | |
| XY工作臺(tái) | 結(jié)構(gòu) | 直線電機(jī) |
| 行程 | 230mm × 220mm，分辨率：1μm | |
| 速度 | ＞200mm/s | |
| 定位精度 | ≤±2μm | |
| 承片臺(tái) | Z向行程 | 10mm，分辨率：1μm |
| Z臺(tái)精度 | ≤±1μm | |
| Z向分辨率 | ≤±0.5μm | |
| θ向調(diào)節(jié)范圍 | ±25° | |
| θ向分辨率 | 0.006° | |
| 顯微鏡/視頻顯示系統(tǒng) | 雙目體視顯微鏡/可選配三目顯微鏡及CCD實(shí)時(shí)視頻顯示裝置 | |
| 控溫范圍 | -45℃~150 ℃ | |
| 溫度設(shè)置分辨率 | 0.1 ℃ | |
| 溫度均勻性 | -45°C 至 +150°C < ±1 °C，>150 °C < ±1 % | |
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