

的外殼與排水設(shè)計便于在桌面式和內(nèi)置式機型之間切換。模塊化設(shè)計使用戶能通過多種不同配件升級設(shè)備,從而簡化分配操作及整體處理流程。
SPINx 系列配備液體過濾捕集器,用于保護(hù)旋涂機的關(guān)鍵部件。它能將通過處理腔室或真空卡盤進(jìn)入真空管路的所有液體或抗蝕劑收集到液體容器中。通過旋涂機外殼上的開口可查看該容器,便于維護(hù)。
蓋子可通過用戶界面或腳踏板(非常適合手套箱環(huán)境使用)自動打開和關(guān)閉。此外,還能在工藝配方的最后一步自動打開蓋子。
新款 SPINx 系列能夠設(shè)定電機回零位置,便于集成到機器人控制 / 自動化環(huán)境中。
液體過濾捕集器
自動蓋子(高級版還可通過腳踏板控制)
可編程電機回零位置
用于注射器或分配噴嘴的中心注射支架
用于用戶安全的蓋子鎖和真空傳感器
大尺寸(可拆卸)觸摸顯示屏
用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進(jìn)行軟件更新的 USB 端口
驅(qū)動單元規(guī)格:間接式無刷驅(qū)動單元,最高 12,000 轉(zhuǎn) / 分;高加速度與精度,1-30,000 轉(zhuǎn) / 分;順時針 / 逆時針旋轉(zhuǎn)及 puddle 模式;可在桌面式和內(nèi)置式機型之間切換的設(shè)計
適用工藝:
涂層
清潔
漂洗 / 干燥
顯影
蝕刻
PDMI 及其他工藝

