
產(chǎn)品說明
POLOS 450 Advanced 單基片旋轉(zhuǎn)處理機,臺式版本,配備 NPP 外殼、旋轉(zhuǎn)杯、手動化學(xué)品分配裝置及重型電機??諝鈩恿W(xué)高效腔體可提高均勻性,而天然聚丙烯或不銹鋼工藝腔室能確保工藝區(qū)域無污染且易于清潔。所有設(shè)備均具備可編程的順時針和逆時針旋轉(zhuǎn)功能以及積液功能。
適用于干燥、沖洗 / 清潔及自動涂布工藝。
規(guī)格參數(shù):
可處理最大基片尺寸:圓形基片直徑 500 毫米,方形基片 350×350 毫米
材質(zhì):天然聚丙烯(高等級 NPP,設(shè)備主體及所有接觸液體的表面)
配置:手動化學(xué)品分配裝置、2 條自動靜態(tài)分配管路
蓋體:氣動開啟與關(guān)閉
吸盤配件:含 1 個真空吸盤,可適配最多 3 種晶圓尺寸
最大轉(zhuǎn)速:1500 轉(zhuǎn) / 分鐘
化學(xué)品分配方式:可自動順序分配或并行分配
透明蓋體:中心周圍配備 6 組噴射器組件(每組均可獨立編程)
旋轉(zhuǎn)功能:順時針及逆時針積液旋轉(zhuǎn)
顯示屏:(可拆卸)彩色觸摸屏,帶可自定義圖標(biāo)
排水接口:標(biāo)準(zhǔn) 1 英寸接口
電機控制器:精密數(shù)字控制器(最大 1500 轉(zhuǎn) / 分鐘)
泵組模塊:獨立模塊,內(nèi)置 6 個蠕動泵
