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Verifire HDX Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀微納表面精密測(cè)量?
- 公司名稱 北京儀光科技有限公司
- 品牌 ZYGO/翟科
- 型號(hào) Verifire HDX
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/8/18 17:12:48
- 訪問(wèn)次數(shù) 35
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西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀、澤攸臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析、徠卡等光學(xué)顯微鏡、RMC超薄切片機(jī)、Linkam冷熱臺(tái)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 15萬(wàn)-20萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
產(chǎn)品概述
Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀微納表面精密測(cè)量 Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測(cè)量技術(shù)，適用于微米至納米級(jí)表面形貌分析，滿足半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密制造等領(lǐng)域的高精度檢測(cè)需求。Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀：微納表面精密測(cè)量 Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀微納表面精密測(cè)量
核心性能
•測(cè)量范圍：垂直分辨率0.1nm，橫向分辨率1μm
•多模式測(cè)量：支持白光干涉、相移干涉等多種測(cè)量模式
•快速掃描：高速數(shù)據(jù)采集，提高檢測(cè)效率
•大視場(chǎng)兼容：適配2.5X-100X物鏡，支持不同尺寸樣品測(cè)量
用材與結(jié)構(gòu)
•光學(xué)系統(tǒng)：高穩(wěn)定性干涉光路設(shè)計(jì)
•精密載物臺(tái)：電動(dòng)控制，定位精度高
•分析軟件：提供3D形貌重建、粗糙度分析等功能模塊
參數(shù)表
型號(hào) | NewView 9000 | NewView 7000 |
|---|---|---|
垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
橫向分辨率 | 1μm | 2μm |
最大視場(chǎng) | 10×10mm | 5×5mm |
掃描速度 | 可選高速模式 | 標(biāo)準(zhǔn)模式 |
Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀主要用途
•半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢測(cè)
•光學(xué)鏡片面形測(cè)量
•MEMS器件三維形貌分析
•材料表面粗糙度表征
使用說(shuō)明
1.樣品準(zhǔn)備：確保表面清潔，避免強(qiáng)反射干擾
2.模式選擇：根據(jù)樣品特性選擇合適測(cè)量模式
3.參數(shù)設(shè)置：調(diào)整掃描范圍和分辨率
4.數(shù)據(jù)分析：通過(guò)軟件進(jìn)行3D重建和參數(shù)計(jì)算
Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀微納表面精密測(cè)量
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