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北京朗銘潤德光電科技有限公司
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這樣的高精密光學(xué)鍍膜機還真是好用2022/11/09
高精密光學(xué)鍍膜機膜厚可以通過時間精確控制,滿足設(shè)計工藝要求,省去了晶控和光控環(huán)節(jié),為客戶節(jié)省了大量的膜厚儀耗材;可以產(chǎn)生高折射率氮化物薄膜,提高薄膜的硬度;低溫成膜,可用于多種用途;自動調(diào)節(jié)氣體流量的裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜質(zhì)量。高精密光學(xué)鍍膜機的模塊化設(shè)計可與等離子體清洗單元、磁控濺射單元、等離子體增強化學(xué)反應(yīng)單元、原子層沉積單元和等離子體化學(xué)反應(yīng)刻蝕單元組合,擴展為集群式微納加工中心,覆蓋半導(dǎo)體微納結(jié)構(gòu)加工的襯底清洗、薄膜沉積(包括超薄膜)和圖形化刻蝕的全過程。滿足嚴格的薄膜沉積均勻
半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤都有哪些尺寸?2022/10/12
半導(dǎo)體設(shè)備用靜電卡盤有各種形狀、尺寸和材料可供選擇。它們通常是圓形的,比晶圓尺寸稍大。常見的尺寸從直徑50毫米到超過300毫米不等。大多數(shù)卡盤有一個圓形(同心)環(huán)形真空設(shè)計,通常可以容納小管芯、一些晶圓和整個晶圓。例如,150毫米(6英寸)卡盤將有一個真空環(huán)形圖案,可以夾住單個芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米的晶圓。在半導(dǎo)體和液晶面板制造過程中,真空吸盤和機械吸盤系統(tǒng)經(jīng)常被用來固定加工用的基材。然而,由于吸附和變形的影響以及提高可靠性的要求,使用靜電的吸盤已被廣泛用于當今一代半晶
橢偏儀根據(jù)測試原理的不同可分為這兩種2022/09/14
器件的制造是通過一系列精確控制的加工過程完成的。為了保證每一道工序都能正確進行,每一道工序都有多種測量和監(jiān)測技術(shù),其中光學(xué)測量因其非接觸、無損、無污染的特點而被廣泛應(yīng)用。光學(xué)測量的一個重要內(nèi)容是薄膜的特性——如厚度和光學(xué)特性。目前常用的光學(xué)測量技術(shù)按其原理可分為光吸收法、干涉監(jiān)測法、偏振光分析法等。橢偏儀采用偏振光分析法(又稱橢偏法),是通過偏振光在材料表面反射后改變相應(yīng)的偏振態(tài)來測量材料的光學(xué)性質(zhì)。橢偏儀根據(jù)測試原理的不同可分為消光型和光度型。一般可分為PCSA消光橢偏儀、旋轉(zhuǎn)偏振器橢偏儀、相
高純特氣閥門談?wù)勌胤N氣體安全運行管理注意事項2022/08/10
隨著國內(nèi)半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對高純氣體尤其是高純特種氣體的需求,對氣體質(zhì)量的要求也越來越高。大部分特殊氣體具有毒性、易燃易爆、強腐蝕性和強氧化性,如H2Se、SiH4、Cl2和NF3。因此,如何安全、穩(wěn)定、可靠地儲存和運輸特殊氣體越來越受到企業(yè)的關(guān)注。下面高純特氣閥門就來談?wù)勌胤N氣體安全運行管理注意事項。1、嚴格按照安全操作規(guī)程操作特種氣體系統(tǒng)在投入使用之前,已經(jīng)將安全設(shè)計理念貫穿其中,特種氣體系統(tǒng)的運行和維護都有相應(yīng)的標準操作規(guī)程。特種氣體系統(tǒng)的換瓶、維護等日常操作應(yīng)由兩人進行,并進行
高溫真空燒結(jié)爐正確操作在使用中是很有必要的2022/07/11
高溫真空燒結(jié)爐的具體結(jié)構(gòu)和性能:1、需要燒結(jié)的燒結(jié)爐內(nèi)膽采用濕釉涂層和一涂一燒工藝。燒結(jié)溫度840~880℃,干燥溫度100~150℃,燒結(jié)時間約8~10min。燒結(jié)爐(含干燥爐)裝機功率850kW(±5%);爐機、風機能耗約25kW;烘干線備用加熱器功率60kW;2、爐體采用型鋼結(jié)構(gòu)。主要保溫材料為1050級硅酸鋁纖維,高溫區(qū)厚度≥340mm;中溫區(qū)厚度≥200mm;100k礦棉氈用于低溫地區(qū)的隔熱。空氣絕緣層和鋁箔絕緣反射層是專門設(shè)計的。爐體表面安裝0.75mm彩色波紋鋼板,美觀耐用;3、安
高溫真空燒結(jié)爐的真空泵該怎么維護?2022/06/14
高溫真空燒結(jié)爐的真空泵該怎么維護?泵油與真空燒結(jié)爐內(nèi)的真空泵運轉(zhuǎn)不良,需要通過油窗查明污染程度和粘度,更換泵內(nèi)的泵油。真空燒結(jié)爐更換泵油的周期:每六個月更換一次油并清洗一次。高溫真空燒結(jié)爐泵油更換步驟如下:1、打開泵的吸水管,5秒后運行。真空燒結(jié)爐內(nèi)泵內(nèi)剩余的泵油容易排出。2、先拆下排氣管,再打開油閥,將泵油倒出。3、關(guān)閉放油閥,從注油口注入新的真空泵油。4、如果真空燒結(jié)爐內(nèi)泵油污染很嚴重,必須在運行幾分鐘后添加一些新的泵油并清洗干凈。如果清洗不到位,必須清洗幾次。5、更換新泵油后,啟動真空燒結(jié)
石墨鍍碳化硅涂層設(shè)備主要有哪些產(chǎn)品應(yīng)用?2022/05/12
石墨鍍碳化硅涂層具有耐高溫、抗氧化、純度高、耐酸堿、耐有機試劑等特點,理化性能穩(wěn)定。與高純石墨相比,高純石墨在400℃開始發(fā)生強烈氧化。即使溫度不高,長期使用也會因氧化而去除粉末,從而附著在工件和工作臺上或污染使用環(huán)境。因此,碳化硅包覆石墨基作為一種新型耗材,在MOVCD設(shè)備、粉末燒結(jié)等工藝中逐漸取代了高純石墨基。石墨鍍碳化硅涂層設(shè)備在高溫條件下從特殊氣體中釋放出硅,使硅與碳直接結(jié)合,以特定形狀包裹石墨基體,形成SiC保護層。形成的SiC與石墨基體結(jié)合牢固,賦予石墨基體特殊的性能,從而使石墨基體
高溫真空燒結(jié)爐可適應(yīng)不同材料的熱壓燒結(jié)2022/04/13
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進步,市場上的真空燒結(jié)爐種類繁多,大部分功能都比較*?,F(xiàn)在基本可以自動控制溫度,自動化程度非常高,在很大程度上節(jié)省了人力和物力。高溫真空燒結(jié)爐在一些科研項目中被廣泛使用,真空燒結(jié)爐運行時,在真空下注入氫氣,利用化學(xué)原理產(chǎn)生高溫進行傳導(dǎo)。高溫真空燒結(jié)爐采用石墨作為發(fā)熱體或中頻感應(yīng)加熱,工作溫度可達2400℃~2600℃,廣泛用于在真空或保護氣氛中燒結(jié)無機材料(如陶瓷密封件、碳化硅、氧化鋯、氧化鋅、氧化鋁等)和金屬材料(如硬質(zhì)合金)。還可用于稀土元素及其氧化物的提純和藍寶石的退火。
特種材料靶材為什么這么重要?2022/03/16
靶材和半導(dǎo)體材料可分為晶圓材料和封裝材料。與晶圓制造材料相比,封裝材料的技術(shù)壁壘相對較低。晶圓的生產(chǎn)主要涉及七種半導(dǎo)體材料和化學(xué)品,其中一種是特種材料靶材。特種材料靶材的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用行業(yè)薄膜技術(shù)的發(fā)展趨勢密切相關(guān)。隨著薄膜產(chǎn)品或元件在應(yīng)用行業(yè)的技術(shù)進步,目標技術(shù)也應(yīng)該發(fā)生變化。簡而言之,靶材就是被高速帶電粒子轟擊的靶材。通過更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦??、鎳靶材等)可以獲得不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐合金膜)。按應(yīng)用領(lǐng)域不同可分為:半導(dǎo)體芯片靶材、平板顯示器靶材、太陽能電池
燒結(jié)真空爐使用注意2022/01/21
在粉末冶金的生產(chǎn)過程中,燒結(jié)是一道重要工序,而且是所有工序的關(guān)鍵工藝。燒結(jié)的目的是使多孔的粉末壓坯變?yōu)榫哂幸欢ńY(jié)構(gòu)和性能的合金。燒結(jié)過程中,合金的變化比較復(fù)雜,而正確的燒結(jié)I藝是制取質(zhì)量優(yōu)良粉末冶金的重要保證,若燒結(jié)方法不當,會造成各種難以挽回的損失,以致成為廢品?,F(xiàn)階段工藝的進化采用了真空燒結(jié)法。因為真空爐可使氣氛穩(wěn)定不變,還可降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量,所以,在粉末冶金生產(chǎn)中,特別是硬質(zhì)合金生產(chǎn)中。采用真空燒結(jié)的方法,將越來越多的受到重視。燒結(jié)真空爐主要用于硬質(zhì)合金、粉沫冶金行業(yè)生產(chǎn)各種
磁控濺射鍍膜技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用2021/11/30
近年來,隨著新材料的開發(fā),尤其是薄膜材料的發(fā)展和應(yīng)用,帶動控濺射沉積技術(shù)的飛速發(fā)展,在科學(xué)研究領(lǐng)域和工業(yè)生產(chǎn)中有著不可替代的重要作用。本文主要介紹了控濺射沉積鍍膜技術(shù)的工藝過程及其發(fā)展情況,各種主要磁控濺射鍍術(shù)的特點,并介紹磁控濺射技術(shù)在各個領(lǐng)域的主要應(yīng)用。濺射鍍膜過程主要是將欲沉積成薄膜的材料制成靶材,固定在濺射沉積系統(tǒng)的陰極上,待沉積薄膜的基片放在正對靶面的陽極上。濺射系統(tǒng)抽至高真空后充入氬氣等,在陰極和陽極之間加載高壓,陰陽極之間會產(chǎn)生低壓輝光放電。放電產(chǎn)生的等離子體中,氬氣正離子在電場作
這個了解透徹了還怕你不會用高溫真空燒結(jié)爐嗎?2021/10/13
高溫真空燒結(jié)爐以加熱棒為加熱元件,采用雙層外殼結(jié)構(gòu)和pid30段程序溫控系統(tǒng),移相觸發(fā)器和晶閘管控制,爐膛采用軟硬碳纖維材料,可以快速升高和降低溫度。外殼整體密封,蓋板和爐門采用高溫硅膠O型圈密封,爐門配有水冷系統(tǒng)。爐子必須在真空下燒結(jié)。爐膛采用2x-30機械泵(配有電磁放空閥)和K-200油擴散泵,并配有冷阱和機組。該爐具有體積小、溫度場平衡、表面溫度低、升溫降溫速度快、*、節(jié)能等優(yōu)點。1、爐體:高溫真空燒結(jié)爐為立式爐殼,內(nèi)層為不銹鋼制成的圓柱體,外層為碳鋼。兩層之間形成夾套,將通過冷卻水傳遞
想更了解橢偏儀,就要知道它的發(fā)展歷程2021/09/15
橢偏儀使用偏振光來測量薄膜或界面參數(shù),通過測量被測樣品反射(或透射)光偏振態(tài)的變化,并沒有得到樣品參數(shù),是一種集光、機、電、計算機等多學(xué)科于一體的薄膜無損分析智能儀器,主要用于測量光學(xué)膜厚和光學(xué)常數(shù)、多層膜厚和光學(xué)常數(shù)、碳鍍盤的碳層厚度和光學(xué)常數(shù)、潤滑層的厚度和表面粗糙度、各種半導(dǎo)體及其氧化物的組成、化合物的組成半導(dǎo)體、梯度膜和透明膜的折射率和厚度等。在早期的消光橢偏儀中,偏光片和偏光片的消光位置是手動控制的,系統(tǒng)的測量時間為幾十分鐘。如果我們需要獲取大量的測量數(shù)據(jù),比如多入射角測量,手動控制消
實驗室用低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備使用注意事項2021/08/17
實驗室用低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備是通過加熱使氣態(tài)化合物在低壓下反應(yīng)并沉積在基板表面,形成穩(wěn)定的固體薄膜。由于工作壓力低,氣體分子的平均自由程和擴散系數(shù)大,可以采用密集加載,提高生產(chǎn)率,在基板表面獲得均勻性好的薄膜沉積層。LPCVD用于沉積多晶硅、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅和難熔金屬硅化物。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、電力電子、光電、MEMS等行業(yè)。1、溫度控制采用串級控制方式,實時控制實際基板溫度。2、裝載采用碳化硅懸臂槳,避免與工藝管道摩擦產(chǎn)生粉塵。3、反應(yīng)氣分子供氣和群發(fā)供
GaAs/GaN用快速退火爐使用注意細節(jié)2021/07/16
GaAs/GaN用快速退火爐的產(chǎn)品特點:1、控制電路采用模糊PID程序控制技術(shù),控溫精度高,熱慣性小,無溫度沖擊,性能可靠,操作簡單。2、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能。高真空系統(tǒng)采用高壓耐沖擊分子泵,防止意外漏氣損壞分子泵,延長系統(tǒng)使用壽命。GaAs/GaN用快速退火爐使用細節(jié):1、爐子使用或長期不用后,應(yīng)120℃烘烤1小時,300℃烘烤2小時,以免爐裂。2、爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件和爐襯。3、嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內(nèi),保持爐內(nèi)清潔。4、如果在爐內(nèi)使用石英
淺析高溫真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)都有哪些改進?2021/06/09
高溫真空燒結(jié)爐是在真空環(huán)境下對被加熱物體進行保護性燒結(jié)的爐子。加熱方式有多種,如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。真空感應(yīng)爐是一種利用感應(yīng)加熱來保護被加熱物體的爐子,可分為工頻、中頻、高頻等類型,又可歸為真空燒結(jié)爐的一個子類。真空感應(yīng)燒結(jié)爐是利用中頻感應(yīng)加熱原理在真空或保護氣氛條件下燒結(jié)硬質(zhì)合金刀頭和各種金屬粉末壓塊的成套設(shè)備,是硬質(zhì)合金、金屬鏑、陶瓷材料的成套設(shè)備。真空感應(yīng)鎢燒結(jié)爐是利用中頻感應(yīng)加熱原理,在抽真空后的氫氣保護狀態(tài)下,在線圈內(nèi)的鎢坩堝內(nèi)產(chǎn)生高溫,通過熱輻射將熱量傳導(dǎo)到工件上。其主要
實驗室用快速退火爐實現(xiàn)真正的極速升溫和降溫!2021/05/18
實驗室用快速退火爐是在管式爐的基礎(chǔ)上開發(fā)的,它不僅具有更快的500℃/S的升溫速率,而且在冷卻速率上達到100℃/S的質(zhì)的飛躍。它巧妙地使用了冷壁技術(shù),從而達到了如此快的冷卻速度,真正實現(xiàn)了快速加熱和快速冷卻!實驗室用快速退火爐的腔室采用*的雙層石英管結(jié)構(gòu),外管用于進氣,內(nèi)管用于排氣,從而使反應(yīng)氣氛與被處理物充分均勻地接觸。樣本。加熱燈管可以使硅芯片快速加熱的原因是,光源的波長在0.3-4微米之間,石英管壁無法有效吸收該波段的輻射,而晶片只是對面的。因此,晶片可以吸收輻射能并迅速加熱,而此時石英
高純特氣閥門的使用竟然還有這些門道2021/04/15
高純度氣體管道系統(tǒng)的質(zhì)量將直接影響高純度氣體的純度,清潔度和干燥度。因此,嚴格控制高純度氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計,材料選擇,加工制造,清潔處理以及安裝和使用中的每個環(huán)節(jié)都具有重要意義。下面我們就來介紹一下高純特氣閥門。高純度氣體對系統(tǒng)中使用的閥門的密封性有非常嚴格的要求。目前,高純特氣閥門基本由SS304或SS316L不銹鋼制成。閥門類型包括隔膜閥,波紋管閥和球閥。波紋管閥的密封性好于球閥的密封性。氣體流經(jīng)閥門時,沒有與外部環(huán)境接觸的填料,因此沒有泄漏。除了隔膜閥的密封性外,它還具有很小的閥體死體積。
如何延長高溫真空燒結(jié)爐的使用期限?2021/03/23
如何延長高溫真空燒結(jié)爐的使用壽命?1、適當?shù)沫h(huán)境濕度實驗電爐和控制器的相對濕度不得超過85%,且不得有導(dǎo)電性的浮塵,爆炸性氣體和腐蝕性刺激物,以免破壞金屬絕緣和電子部件。碳化硅棒應(yīng)放置在干燥的地方,以防止鋁頭吸收水分并發(fā)生變化。在施工過程中,如果發(fā)現(xiàn)某些桿呈白色,而有些桿呈深紅色,則表明每個桿的電阻都不同,因此有必要在重新施加之前用相似的電阻值更換該桿。2、合適的溫度高溫真空燒結(jié)爐的運行與工作溫度有很大關(guān)系??刂破鞯墓ぷ鳝h(huán)境溫度限制在0-50℃,不能太高或太低。3、確保設(shè)備連接正確在實驗電爐的運
實驗室用快速退火爐可提供準確和可重復(fù)的熱控制2021/03/09
實驗室用快速退火爐基于SolarisGUI的PID處理控制器,可以存儲程序,每個程序多可以支持100個設(shè)置步驟,并帶有USB2.0接口。包含與MicrosoftWindows操作系統(tǒng)兼容的SolarisGUI軟件。使用此軟件,可以通過鏈接到計算機輕松地實現(xiàn)程序編輯和數(shù)據(jù)記錄。實驗室用快速退火爐可以滿足大學(xué),研究實驗室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求,它是高度可靠且具有成本效益的。處理腔室采用殼狀設(shè)計,可以*進入底板,便于基板的裝卸,并可以對腔體進行實際清潔??焖俚臄?shù)字PID溫度控制器可在整個溫度范圍內(nèi)提供準確
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